Low Temperature Chillers半導(dǎo)體冷水機(jī)
本設(shè)備性能優(yōu)異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據(jù)需求定制，控制精度可達(dá)±0.05℃，適用于溫濕度控制良好的環(huán)境，具有定時運(yùn)轉(zhuǎn)、溫度補(bǔ)償、實現(xiàn)自我診斷等功能，且可實現(xiàn)過熱、過載、缺水等多重報警功能，遠(yuǎn)程控制方便，可以實現(xiàn)RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。
Low Temperature Chillers半導(dǎo)體冷水機(jī)
應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP (工藝機(jī)械拋光)，實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
溫控精度（空載時）±0.05℃
觸摸屏操作，人機(jī)交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能
溫度波動小
占地面積小、保護(hù)裝置
快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運(yùn)營成本和保障生產(chǎn)
運(yùn)行穩(wěn)定、準(zhǔn)確控溫
可用選項
省空間、省配線、省配管、省工時、雙變頻型更節(jié)能。
可對應(yīng)溫度穩(wěn)定性（空載時）±0.05℃。
循環(huán)液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水(純水)
冷卻方式：水冷式
應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP (工藝機(jī)械拋光)，實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
溫控精度（空載時）±0.05℃
觸摸屏操作，人機(jī)交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能
溫度波動小
占地面積小、保護(hù)裝置
快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運(yùn)營成本和保障生產(chǎn)
運(yùn)行穩(wěn)定、準(zhǔn)確控溫
可用選項
省空間、省配線、省配管、省工時、雙變頻型更節(jié)能。
可對應(yīng)溫度穩(wěn)定性（空載時）±0.05℃。
循環(huán)液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水(純水)
冷卻方式：水冷式
