性能優(yōu)點(diǎn):
2.采用一次性裝夾,定位精度高,硅損量小。
3.設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作簡(jiǎn)單故障率底。
4.節(jié)省開方至磨倒傳輸自動(dòng)線,降低自動(dòng)化線投入成本。
5.可以對(duì)接自動(dòng)化連接線及MIS信息傳輸,高自動(dòng)化、高智能化,無(wú)人化。
6.智慧+:具備自動(dòng)培訓(xùn)操作規(guī)程及常見故障維修方法;具備自動(dòng)提配保養(yǎng)以及點(diǎn)檢標(biāo)準(zhǔn)化(與MES或設(shè)備管理軟件對(duì)接);具備自動(dòng)識(shí)別晶棒尺寸及切割、磨削工藝。
性能特點(diǎn):
2.晶線通過(guò)率高:晶線通過(guò)高>98%,檢測(cè)精度高: (166mm-180mm-210mm)三個(gè)檢測(cè)位置可調(diào),可適應(yīng)不同尺寸的硅棒檢測(cè)。
3.自動(dòng)修刀:具備自動(dòng)砂輪修整功能。
4.自動(dòng)化程度高:可根據(jù)檢測(cè)數(shù)據(jù)自動(dòng)調(diào)整切割工藝(磨削刀數(shù)和進(jìn)刀量)。
5.產(chǎn)能高:硅棒加工過(guò)程一次性裝夾,實(shí)現(xiàn)圓棒到方棒的整個(gè)加工流程,長(zhǎng)度800mm的182mm方棒效率為27min/根,成品棒日產(chǎn)平均可達(dá)2.4T以上。
6.投資成本低:開方磨倒工序集成,取消磨倒工序及兩個(gè)工序之間的自動(dòng)化裝備;且加工設(shè)備投資成本更低。
7.占地面積小:設(shè)備結(jié)合開方、磨削一體,整體占地面積小。
設(shè)備參數(shù):
序號(hào) | 項(xiàng)目 | 單位 | 數(shù)值 |
1 | 晶棒長(zhǎng)度 | mm | 200-900 |
2 | 晶棒直徑范圍 | mm | 225-350 |
3 | 晶棒寬度 | mm | 166-230 |
4 | 環(huán)線周長(zhǎng) | mm | 1820 |
5 | 環(huán)線線徑 | mm | 0.42mm/0.50mm |
6 | 環(huán)線線速度 | m/s | 1-50 |
7 | 粗磨砂輪 | mm | Φ304*40*Φ100*15*9 |
8 | 精磨砂輪 | mm | Φ354*76*Φ200*15*8 |
9 | 總功率 | kw | 80 |
10 | 耗電量 | kwh | 22 |
11 | 電源 | 三相380V 50Hz | |
12 | 設(shè)備尺寸 | mm | 長(zhǎng)7778*寬5399*高3890 |
13 | 設(shè)備重量 | T | 38.5 |