EXE-FLOWTM以Exact“正確的流量測量”優(yōu)秀我們已經(jīng)將“優(yōu)秀功能”概念商業(yè)化。
有11種標準庫存，涵蓋從小流量（F.S.10 sccm）到大流量（F. S. 200 slm）。
- 配備新型高性能傳感器的低成本型號
- 體積小，重量輕，單電源DC24V驅(qū)動
- 配備RS-485通訊功能標準
- 符合RoHS,CE標準
- 集成指示燈操作簡單
?瞬時?累積流量顯示?氣體類型轉(zhuǎn)換 ?CF任意設(shè)置
?上下限報警設(shè)置 ?流量單位變更 ?低頻截止設(shè)置
?局號設(shè)置 ?通訊傳輸速度變更 etc
EXE-FLOW標準規(guī)格
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
|---|---|---|---|
| 流量范圍（N2） | 10/50/100/500 SCCM 1/5/10/20 SLM | 50/100/200 SLM | |
| 可氣體（* 1） | N2（空氣，H2，He，Ar，O2，CO2等/通過CF轉(zhuǎn)換切換） | N2（空氣切換，Ar / CF轉(zhuǎn)換） | |
| 響應(yīng) | 2秒以內(nèi) | ||
| 精度（* 2） | ±1.0%F.S. (25℃) | ±1.5％FS（25°C） | |
| 溫度系數(shù) | ±0.2%F.S./℃ (15～35℃) ※200SLMのみ±0.4%F.S./℃ | ||
| 再現(xiàn)性 | ±0.2%F.S. | ||
| 耐壓 | 980ｋPa(G) | ||
| 允許周圍溫度 | 5～50℃ | ||
| 允許保管溫度 | -10～60℃ | ||
| 允許工作濕度 | 10～90%RH （無結(jié)露） | ||
| 氣體接觸材料 | SUS316，SUS316L，PTFE，F(xiàn)KM（可選NBR，CRP） | ||
| 電氣連接 | DC插孔或Dsub 9針公頭 | ||
| 數(shù)字通信 | RS 485（MODBUS協(xié)議，RTU模式）ID：1-247 | ||
| 所需電源（DC） | 24VDC(±10%) 100mA以下 | ||
| 接頭 | 1/4F900（標準） | 3/8F900（標準） | |
| 控制針（可選） | MODEL2412 | MODEL2412D | |
| 安裝姿勢 | 推薦水平方向 | ||
| 輸出 | 輸出方式 | NPN開集 2點（額定值：DC30V 50ｍA） | |
| 輸出數(shù)量 | 2點（每個輸出可以選擇并設(shè)置為瞬時流量上限，下限，上限/下限或積分到達，積分脈沖也可以在1點選擇。）輸出反轉(zhuǎn)是可能的 | ||
| 活動展示 | LED燈（OUT1，OUT2）亮起 | ||
| 模擬輸出（* 4） | ①4～20mA (500Ω以下) ②0～5V (10kΩ以上) ③1～5V (10kΩ以上) | ||
| 重量 | 約600g （不含接頭） | 約700g （不含接頭） | |
（* 1）清潔氣體，即干燥氣體，不含腐蝕性成分和灰塵，霧氣等。
除N2（2為下標）氣體外，根據(jù)數(shù)據(jù)得出的計算值進行切換。
（* 2）使用N2氣體保證精度。
還有15-35°C的溫度保證選項。
請另行咨詢。
（* 3）氣體切換時，與N2（2為下標）的滿量程相同的流量分配。
雖然屬于基于測量數(shù)據(jù)的氣體類型校正，但不保證精度。
（* 4）V/I訂購時選擇。
尺寸圖
