通過高頻感應(yīng)加熱產(chǎn)生大約1萬(wàn)度的熱等離子體，經(jīng)過物理/化學(xué)反應(yīng)過程，能合成納米顆粒及厚膜(鍍膜)。
原理?特征
在大氣壓或者接近大氣壓的低氣壓環(huán)境下，將高頻電源集中于局部，通過電磁感應(yīng)使各種氣體在瞬間變成１萬(wàn)度左右的超高溫等離子體。
熱等離子體屬于電弧放電，往等離子體中充入原料（粉末、氣體或液體），經(jīng)過蒸發(fā)、熔融、分解、化學(xué)反應(yīng)等，能進(jìn)行納米顆粒的合成、微細(xì)粉末的球化及反應(yīng)、鍍膜、有害氣體的分解等。
與直流(DC)電弧放電相比能獲得大容積的等離子體。
氣體流速比直流(DC)等離子體相比要慢10倍，原料可以被充分地加熱、反應(yīng)。
由于沒有電極，也就沒有電極材料的污染，整個(gè)過程非常純凈。
具有氧化性、還原性、腐蝕性的各種氣體都可以使用。
超出了機(jī)械粉粹的能力，能將顆粒微細(xì)化到納米級(jí)。
由于能夠利用等離子體中的原子、離子、激發(fā)態(tài)分子和自由基等高能量化學(xué)物種的反應(yīng)，有望用來合成新物質(zhì)、新材料。
儀器概要
高頻振蕩器
對(duì)高頻感應(yīng)等離子體負(fù)載具備的匹配電路及控制性能，能充分地應(yīng)對(duì)異常放電，電源效率業(yè)界。
產(chǎn)品系列（額定輸出功率）：6kW型，35kW型，100kW型，200kW型
*300kW型也已經(jīng)生產(chǎn)
等離子體炬
每個(gè)高頻振蕩器配有專用的等離子體炬。
能產(chǎn)生體高密度等離子的體炬直徑及結(jié)構(gòu)
兩層冷卻水管結(jié)構(gòu)，內(nèi)管使用陶瓷管，與石英管相比耐久性高
※ (已取得)、在低壓～大氣壓狀態(tài)下能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地運(yùn)行。
目前還在開發(fā)將直流 (DC) 和高頻 (RF)結(jié)合的混合式等離子體炬，混合式具有以下特征:
將直流等離子體射流疊加在高頻等離子體的上方，這樣就會(huì)對(duì)高頻等離子體有輔助作用。
制作納米顆粒時(shí)，由于原料能用直流等離子體預(yù)熱，可以進(jìn)行高效率地蒸發(fā)（微細(xì)化）。
系統(tǒng)
能根據(jù)用途和目的提供納米顆粒合成裝置、鍍膜裝置、試驗(yàn)用裝置等。
*可以提供熱等離子體發(fā)生器（成套設(shè)備）
