● 實(shí)現(xiàn)80nm高分辨率,高對(duì)比觀察
● 采用深紫外線(xiàn)248nm的色差補(bǔ)正光學(xué)系,實(shí)現(xiàn)明亮、高對(duì)比深紫外線(xiàn)觀察
● 系統(tǒng)設(shè)計(jì)自如和實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間的單元式小型輕量化
● 采用長(zhǎng)壽命汞氙燈,減少更換燈泡所耗,降低操作成本
OLYMPUS U-UF248深紫外顯微鏡單元規(guī)格
UVF248鏡筒 U-UVF248IM | DUV光學(xué)系統(tǒng) | 使用波長(zhǎng):248±4nm;光源:80W汞氙燈;物鏡:專(zhuān)用DUV100*/N.A.0.9WD0.2mm;中間倍率:2.5x;視場(chǎng)數(shù):12.5(實(shí)際視場(chǎng)50μm);適用環(huán)境:23±5℃ |
可視光學(xué)系統(tǒng) | 物鏡:UIS物鏡;中間倍率:1x;視場(chǎng)數(shù):22(相機(jī)觀察為20) |
DUV圖象采集系統(tǒng)規(guī)格
DUV相機(jī) | XCD-SX910UV(Sony制造)高分辨率DUV數(shù)碼相機(jī);SXGA1280(H)*960(V);紫外適用范圍:190nm-380nm(可視領(lǐng)域中也有適用部分) |
DUV相機(jī)操作系統(tǒng)適用 | 適用PCI路徑的IEEE1394圖象輸入板;相機(jī)操作用PC(WindowsXP,驅(qū)動(dòng):CD-ROM或DVD-ROM) |
顯微鏡本題規(guī)格
推薦使用的顯微鏡系統(tǒng) | 半導(dǎo)體/FPD檢測(cè)顯微鏡/MX61/MX61L; 工業(yè)檢測(cè)顯微鏡/MX51; |
系統(tǒng)消耗電量 | 3kW() |
重量 | 約46kg(與MX61組合時(shí)),約28kg(與MX51組合時(shí)) |