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微納米芯片光刻系統，本機統針對各大專院校、企業及科研單位，對光刻機使用特性研發的一種高精度光刻系統。

紫外納米芯片光刻系統，主要用途，本機針對各大專院校、企業及科研單位，對光刻機使用特性研發的一種高精度光刻機。

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單面光刻機系統，本機針對各大專院校、企業及科研單位，對光刻機使用特性研發的一種高精度光刻機。