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激光調阻機的工藝性能

閱讀:549          發布時間:2019-12-10

激光微調是利用數控激光切割機的激光器可聚焦成很小的光斑,能量集中,有選擇的氣化部分材料來制造微電子元件的一種方法。

用激光對電阻、電容進行精密微調,加工時對臨近的元件熱影響極小,不產生污染,易于計算機控制,具有速度快、效率高、可連續監控等優點,與常規微調方法相比,還具有精度高、再現性好和阻值不隨時間變化的特點。

激光微調廣泛用于厚、薄膜元件和電路的參數微調,包括電阻器、電容器、石英諧振腔、單片濾波器的參數調諧,混合集成電路放大器、分壓器、穩流器、數字模擬與模擬數字交換器、高頻振蕩器、運算放大器等以及石英壓電設備(包括振蕩器、濾波器)的功能調節,半導體集成電路的微調,消除了影響多種集成電路精度的種種限制。

由于激光光束能精確的定向、定位在小尺寸區域內,并以規定的形式結合小的熱作用區,可對薄膜元件進行精密單件微調,因加工中沒有中間(化學)過程并可在大氣中加工,所以可實時檢驗結果,并實現激光加工過程的自動化,具有精度高、工藝簡便和高效的特點。

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