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真空機(jī)械手SRBZ970C

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沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司

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所在地區(qū)：遼寧沈陽(yáng)市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

磁流體密封、網(wǎng)絡(luò)化控制器、MCBF大于1000萬次，SEMI認(rèn)證S2，F(xiàn)47，迎合個(gè)性化設(shè)計(jì)具有手臂長(zhǎng)度、自由度可選，手指及接口用戶可定制的特征，耐高溫、耐腐蝕，動(dòng)態(tài)糾偏和碰撞保護(hù)功能

詳細(xì)介紹

采用*的磁流體密封技術(shù)，具有噪音小、振動(dòng)小、運(yùn)行平穩(wěn)、精度高等特點(diǎn)。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護(hù)功能，有效保護(hù)機(jī)械手和客戶晶圓,減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。全新的軌跡規(guī)劃，提高運(yùn)動(dòng)節(jié)拍，提高了用戶產(chǎn)能.帶有大屏幕機(jī)器人示教器，方便調(diào)試人員使用。可以根據(jù)客戶應(yīng)用的特殊要求，定制手臂尺寸等。

參數(shù)：

型號(hào)		SRBZ970C
密封方式		磁流體密封
自由度數(shù)		2
負(fù)載	名稱	托盤
	直徑	Φ380mm
	重量	2kg
運(yùn)動(dòng)范圍	R軸（mm）	立柱中心至R軸伸展處被搬運(yùn)物體中心距離920
	θ軸（°）	360
全行程最小時(shí)間	R軸（s）	2.5（Home to Extend 920mm）
	θ軸（s）	4.8 (180°)
重復(fù)定位精度	θ軸（°）	±0.01（3σ）
	R軸（mm）	±0.1（3σ）
重量	機(jī)械手本體	41kg
	控制器	15kg
耐真空度 (Pa)		＜5×10^-9 Torr
漏率		＜1×10^-9 std.cc/sec He
碰撞保護(hù)		盤片和機(jī)械手無損傷
行程		970mm
電源范圍電壓波動(dòng)范圍		單相交流208V +10%，-15%