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Mask Stocker潔凈機器人

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更新時間：2023-09-11 13:43:56瀏覽次數(shù)：223次

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沈陽新松機器人自動化股份有限公司

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所在地區(qū)：遼寧沈陽市

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產(chǎn)品簡介

Mask case STK，高潔凈度，非接觸供電，SEMI軟件接口，動態(tài)糾偏和碰撞保護功能，高可靠性，設(shè)備可定制

詳細介紹

用于FPD行業(yè)Mask case自動化搬送、存儲，與曝光機對接。優(yōu)化結(jié)構(gòu)及氣流流場設(shè)計，可使?jié)崈舳冗_到ISO Class4等級要求；帶有豐富的安全設(shè)計和靈敏的碰撞保護功能，有效保護Cassette、人身安全, 提高了產(chǎn)品的安全等級,減少不必要的損失；高剛度、高可靠性設(shè)計，保護貴重Mask；標準的SEMI軟件接口，可以方便對接面板廠MCS系統(tǒng)，可實時上報系統(tǒng)各種狀態(tài)數(shù)據(jù)，實現(xiàn)工廠智能管理；可以根據(jù)客戶應(yīng)用的特殊要求，定制設(shè)備功能及尺寸。

參數(shù)：

設(shè)備		Stocker Crane
運動軸		行走 / 提升/ 旋轉(zhuǎn)/ 叉取
有效負載		240kg
控制		PLC
電源供應(yīng)		HID (CPS)+ECO
電機		伺服電機
行走	速度	66m/min
提升	速度	40m/min
旋轉(zhuǎn)	速度	180°/6s
叉取	上/下料時間	11s
叉取卡夾精度		±2mm