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IC STOCKER潔凈機(jī)器人

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更新時間：2023-09-12 08:47:45瀏覽次數(shù)：144次

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沈陽新松機(jī)器人自動化股份有限公司

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所在地區(qū)：遼寧沈陽市

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產(chǎn)品簡介

FOUP STK，高潔凈度，電纜供電，低噪音，行走免潤滑，SEMI軟件接口，碰撞保護(hù)功能，MCBF50000次，Automatic teaching,設(shè)備可定制

詳細(xì)介紹

用于IC行業(yè)FOUP自動化搬送、存儲，實(shí)現(xiàn)晶圓在曝光、刻蝕等核心工藝之間流轉(zhuǎn)。優(yōu)化結(jié)構(gòu)及氣流流場設(shè)計，可使?jié)崈舳冗_(dá)到ISO Class4等級要求；帶有豐富的安全設(shè)計和靈敏的碰撞保護(hù)功能，有效保護(hù)FOUP、晶圓、人身安全, 提高了產(chǎn)品的安全等級,減少不必要的損失；全新的系統(tǒng)運(yùn)動邏輯規(guī)劃，提高產(chǎn)品搬送效率；標(biāo)準(zhǔn)的SEMI軟件接口，可以方便對接面板廠MCS系統(tǒng)，可實(shí)時上報系統(tǒng)各種狀態(tài)數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)工廠智能管理；可以根據(jù)客戶應(yīng)用的特殊要求，定制設(shè)備功能及尺寸。

參數(shù)：

設(shè)備		IC Stocker
運(yùn)動軸		行走 / 提升/ 旋轉(zhuǎn)/ 叉取
有效負(fù)載		10kg
控制		PLC+PC
電源供應(yīng)		VAC 220V±10%
電機(jī)		伺服電機(jī)
行走	驅(qū)動	齒輪齒條+減速機(jī)+電機(jī)
	速度	2.2m/s
提升	驅(qū)動	電機(jī)減速機(jī)+同步帶+帶輪
	速度	1.75m/s
旋轉(zhuǎn)	驅(qū)動	電機(jī)+同步帶+減速機(jī)
	速度	120°/sec
叉取	驅(qū)動	電機(jī)減速機(jī)+同步帶+帶輪
	上/下料時間	4.8s
叉取FOUP精度		±0.5mm