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輪廓度儀Mahr XC 2

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上海適威工貿(mào)有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

詳細(xì)介紹

輪廓測(cè)量軟件特征:
? 建立回歸直線和圓形
? 建立點(diǎn)、交點(diǎn)、自由點(diǎn)、中心點(diǎn)、點(diǎn)和點(diǎn)
? 建立坐標(biāo)系統(tǒng)
? 計(jì)算半徑、距離、角度、坐標(biāo)及線性偏差
Mahr馬爾MarSurf XC2輪廓儀
入門級(jí)高精度輪廓測(cè)量?jī)x
快速高性價(jià)比的2D 輪廓測(cè)量系統(tǒng)為用途泛的測(cè)量系統(tǒng).
Mahr馬爾MarSurf XC 2輪廓儀
測(cè)量原理 : 觸針法
傳感器 : 測(cè)尖和測(cè)臂及驅(qū)動(dòng)器 CD120
水平測(cè)量長(zhǎng)度 :120 mm
垂直測(cè)量范圍 : 50 mm 或 + 25 mm
放大倍率 : 20 倍
輪廊各取點(diǎn)的距離 : 0.07 um 當(dāng)掃描速度為 0.1 mm/s
0.35 um 當(dāng)掃描速度為 0.5 mm/s
輪廓參數(shù) : 曲率半徑, 角度, 距離, 坐標(biāo), 回歸直線的插入和創(chuàng)作,
圓, 圓截面, 確定各個(gè)點(diǎn), 相交各點(diǎn),坐標(biāo)軸, 直線, 垂直
線, 圓和圓截面.
校準(zhǔn) : 校準(zhǔn)程序

技術(shù)數(shù)據(jù)
驅(qū)動(dòng)單元 CD 120
掃瞄長(zhǎng)度 (X方向) 0.2 mm 至 120 mm (0.0079 in x 4.72 in)
測(cè)量范圍 (Z方向) 50 mm (1.97 in), 適用于 350 mm (13.78 in) 測(cè)臂
25 mm (0.98 in), 適用于 175 mm (6.89 in) 測(cè)臂
測(cè)量系統(tǒng) (X方向) 高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)(出廠經(jīng)激光干涉儀校準(zhǔn))
測(cè)量系統(tǒng) (Z方向) 電感傳感器*, 高精度, 高線性度
測(cè)針分辨率( Z方向) 0.38 μm (15 μin), 適用于350 mm (13.78 in) 測(cè)臂
0.19 μm (7.5 μin), 適用于175 mm (6.89 in) 測(cè)臂
測(cè)量系統(tǒng)分辨率( Z方向) 0.04 μm (1.6 μin)
行程偏差 < 1 μm (40 μin) (在120 mm (4.72 in)全行程內(nèi))
測(cè)力 (Z方向) 1 mN 至 120 mN, 向上和向下
(可在 MarSurf XC 2設(shè)定)
行程升角在光滑表面, 取決于表面傾斜程度:
向下降低時(shí)不超過 88°, 向上上升時(shí)不超過77°

Mahr馬爾MarSurf XC 2輪廓儀
水平驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 : 120 mm
輪廓垂直測(cè)量范圍 : 5 0mm (相對(duì)零點(diǎn)為+/-25mm)
測(cè)力 : 2mN ......120mN.
直線度誤差: < 1um / 120mm
X/Z方向定位精度: 1 um
測(cè)針分辨率: 0.25 um/ 175 mm 測(cè)桿
0.5 um/ 350 mm 測(cè)桿
系統(tǒng)分辨率: 0.04 um
掃描速度 : 0.2 mm/s 至 4 mm/s
測(cè)量速度 : 0.1mm/s .....4mm/s
測(cè)角 : 在光滑表面可抬升 + 12 mm
下降角度到880, 上升角度為770.
測(cè)量?jī)A斜: 驅(qū)動(dòng)器可傾斜±45o以上進(jìn)行測(cè)量