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武漢華工激光工程有限責任公司
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面向半導體行業，采用晶圓機械手配合外同軸視覺定位等技術，實現2-6英寸晶圓全自動激光標刻。 平均功率 5W/20W 激光光源 光纖/紫外激光器 整機尺寸mm 1250*900*1900
晶圓專用機械手自動取放，自動對焦
搭配不同光源，可適應不同精度等級標識
智能化，視覺定位+自動尋邊，容錯率高
| 項目 | 主要技術參數 | ||
| 激光器參數 | 設備型號 | LSF20 | LSU5EB |
| 激光光源 | 光纖激光器 | 紫外激光器 | |
| 激光波長 | 1064nm | 355nm | |
| 平均功率 | 20W | 5W | |
| 加工性能 | 加工精度 | ±0.1mm | ±0.05mm |
| 幅面 | 150×150mm | 150×150mm | |
| 支持文檔格式 | bmp,jpg,png,ai,dxf,dst,plt | ||
| 其他 | 供電規格 | 2.0KW/AC220V/50HZ | |
| 環境要求 | 0-40℃ | ＜35℃ | |
| 整機尺寸（長×寬×高） | 1250mm*900mm*1900mm | ||
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