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上海謹通儀器儀表有限公司
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半導體微量光子檢測顯微鏡微光顯微鏡是捕獲半導體器件缺陷或失效點發射微量光子的一種無損檢測設備。在電激勵作用下，電子-空穴對或高能熱載子以光子的形式釋放出多余動能。根據此原理，利用高增益低噪聲的相機就能精確定位到缺陷位置。EMMI系統C主要適用于PN結漏電、氧化層崩潰、靜電放電破壞、閂鎖效應、碰撞電離和雪崩擊穿等多種物理場景。
半導體微量光子檢測顯微鏡
半導體微量光子檢測顯微鏡
產品特征參數
軟件圖像處理功能
8寸高壓手動氣浮探針臺
紫外、可見光、紅外顯微光學系統
2倍、5倍、10倍、20倍與50倍紅外物鏡
400 -1000 nm 或900-1700 nm響應波長
支持3000 V高壓偏置
相機與源表的一體化控制程序
應用方向
GaN與SiC 基功率器件
的漏電“熱點"定位
GaN基LEDs與結型探測
器的漏電“熱點"定位
Si基MOSFET與IGBT等功
率器件的漏電失效“熱
點"定位
GaAs基激光器光分布與
漏電“熱點"定位
常規的器件的靜態電學
參數測試。
相關系列有關于芯片失效與缺陷檢測都可以聯系我司，可看樣機測試
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