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半導體晶圓接觸角測量儀

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蘇州英蒔特儀器科技有限公司

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產品簡介

所謂接觸角是指在一固體水平平面上滴一液滴，固體表面上的固－液－氣三相交界點處，其氣－液界面和固－液界面兩切線把液相夾在其中時所成的角

詳細介紹

所謂接觸角是指在一固體水平平面上滴一液滴，固體表面上的固－液－氣三相交界點處，其氣－液界面和固－液界面兩切線把液相夾在其中時所成的角。

本公司儀器采用現代化工藝制造，儀器采用的專用CMOS數字攝像機，配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統，搭配三維樣品臺，可進行工作臺上下、左右、前后等方向移動。實現微量進樣及上下、左右精密移動。同時還設計了伸縮桿結構工作臺，能適應在不同用戶材料厚度加大的場合。儀器框架可以根據式樣的大小適量調節，擴大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能，測量多次后的結果可以同時保存在同一報告下，能讓用戶更好的對材料數據進行管控。該儀器設計美觀大方、操作簡單、符合用戶所需。適用于各種行業測定接觸角的用戶。

設備規格
設備主機
外形尺寸	900mm（長）×550mm(寬)×730mm(高)
重量	30KG
整機調節	整機水平測試/調節
電源
電壓	100～240VAC
功率	150W
頻率	50/60HZ
空間
平臺尺寸	12in
試樣	12in×15mm
樣品臺調節	自動3D移動平臺
樣品臺調節	行程160mm，精度0.1mm 360°無極旋轉旋轉精度，0.01°
注射系統
滴液方式	精密
控制方式	軟件數字控制
滴液精度	0.01μl
注射器	高精密氣密性注射器
接液方式	精密電機控制
接液高度	智能判定
容量	100μl/500μl/1000μl(標配500μl)
針頭	0.51mm全不銹鋼超疏水針頭(標配)
速度	1μL/min ～2000μL/min
軟件
接觸角范圍	0～180°
分辨率	0.01°
全自動測量	全自動一鍵測量功能（可編程測試點位，多點自動測量）
數據量	一鍵分析12in晶圓>100個數值
形態譜圖	2D形態數據譜圖
接觸角測量方式	全自動、半自動、手動
分析方式	懸滴法、停滴法（2/3態）、氣泡捕獲法、座滴法、座針法、插板法
分析方法	靜態分析、自動增液縮液動態分析、潤濕動態分析、實時分析、雙邊分析、前進后退角分析
測試方法	圓法、橢圓/斜橢圓法、微分圓/微分橢圓法、Young-lapalace、寬高法、切線法、區間法
表/界面張力測試
測試范圍	0～3000mN/m
分辨率	0.01 mN/m
張力測量方式	全自動
分析方式	氣泡捕獲法、懸滴法、實時譜圖
表面自由能
測試方法	Zisman、OWRK、WU、WU 2、Fowkes、Antonow、Berthelot、EOS、粘附功、浸濕功、鋪展系數
數據處理
輸出方式	自動生成，可導出/打印EXCEL、Word、譜圖等多種報告格式