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廣州科朋科學儀器有限公司
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性能參數大氣壓70~106工作臺面中心振動靜位移µm(rms)2
大氣壓 | 70~106 |
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工作臺面中心振動靜位移µm(rms) | 2.9 |
主過濾器類別 | ULPA |
人員保護 | 1~2 |
主過濾器效率 | 99.9995%@0.12μm |
下降氣流速度(m/s) | 0.28 |
流入氣流速度(m/s) | 0.55 |
頻率 | 50Hz±1Hz |
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工作室內表面材質 | SUS304 |
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腳輪 | 有 |
過濾器阻塞報警 | 有 |
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過濾器破損報警 | 有 |
前窗玻璃防紫外線 | 有 |
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