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3軸圓柱坐標(biāo)型真空潔凈機(jī)械手臂

參考價(jià)

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產(chǎn)品型號(hào)SVCR3000

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廠商性質(zhì)其他

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北京銳潔機(jī)器人科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：25條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：王先生

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品，穩(wěn)定性好，性價(jià)比高，也可用于搬運(yùn)托盤

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品，穩(wěn)定性好，性價(jià)比高，也可用于搬運(yùn)托盤

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)：160 mm，190 mm，260 mm，330 mm
Z軸（升降軸）標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度：20 mm，40 mm
可搬運(yùn)重量：手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)2kgf以下（臂長(zhǎng)160 mm，260 mm，330 mm）
手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)3 kgf以下（臂長(zhǎng)190 mm）
手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置
真空密封：磁流體密封及波紋管
提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5 µm級(jí)過濾器
配備動(dòng)作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進(jìn)電機(jī)
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
可以選配伺服電機(jī)規(guī)格
手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式
可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供優(yōu)選的手指

PE-CVD設(shè)備；刻蝕設(shè)備；高溫PVD設(shè)備

被搬運(yùn)物	?300 mm晶圓
	手臂	旋轉(zhuǎn)	升降
可動(dòng)范圍* （手臂第3關(guān)節(jié)中心基準(zhǔn)）	520 mm	330度	40 mm
搬運(yùn)速度 (平均速度)*	300 mm/sec	120度/sec	20 mm/sec
搬運(yùn)速度 (速度)*	550 mm/sec	170度/sec	30 mm/sec
精度*	82 µm	0.009度	1.25 µm
搬運(yùn)高度*	98 mm（法蘭安裝面到手指安裝面的高度）
重復(fù)性精度	±0.1 mm以內(nèi)
潔凈度	可以使用磁流體密封裝置以及顆粒過濾裝置
耐真空度	1.33×10^-6Pa
廠務(wù)	電源：DC24V±10% 8A