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青島新松機器人自動化有限公司
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產品介紹Product Introduction
簡介
Introduction
晶圓預對準是晶圓搬運以及整個IC制造過程中的重要環節,晶圓的定位與識別都需要Pre-aligner的參與。晶圓預對準的目的是計算晶圓的偏心并找到其缺口,進而補償其偏心并將缺口轉至一預設方向,為下一步的晶圓識別或處理做好準備。新松Pre-Aligner具有定位精高、對準速度快等優點，大大縮短了晶圓的傳輸與處理時間，提高了晶圓的生產效率。
參數
Parameter
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