注塑機 擠出機 造粒機 吹膜機 吹塑機 吹瓶機 成型機 吸塑機 滾塑機 管材生產線 板材生產線 型材生產線 片材生產線 發泡設備 塑料壓延機
武漢華工激光工程有限責任公司
武漢華工激光工程有限責任公司
暫無信息 |
面向半導體產業鏈上游的原材料生產企業，采用獨立開發的光譜共焦測量系統，對半導體原片、外延片的尺寸和平面度進行檢測。 重復精度 ±0 . 1 μm 檢測厚度 ± 1 mm 整機尺寸（mm） 1800*1300*2250
用于各種材質各種拋光狀態的4—8英寸原片、襯底及外延片
厚度范圍:0—1mm 測量精度:士1μm 重復精度:0.2μm
測量時間:30s/pcs(依據客戶檢測軌跡)
| 項目 | 主要技術參數 | ||
| 常規參數 | Wafer尺寸 | 4" , 6" | |
| 料盒數量 | 雙層， 14 pcs | ||
| 上下料方式 | 機械手， Mapping掃描 | ||
| 運動平臺 | X行程150mm， Y行程150mm， | 重復精度 ±0 . 1 μm 重復精度 ±0 . 1 μm | |
| 產能 | 4" , 240WPH 6" , 220WPH | ||
| 檢測性能 | 檢測功能 | 晶圓（貼膜晶圓）厚度、TTV、翹曲度 | |
| 厚度測試精度 | ±0 .5 μm， 重復性： 0 . 1 μm（連續測試25片， 每片測試5點 ） | ||
| 厚度范圍 | ± 1 mm | ||
| TTV測試精度 | ±0 .5 um， 重復性： 0 .2 μm | ||
| 翹曲度測試精度 | ± 2 μm， 測試范圍： ± 600μm， 重復性： 1 μm | ||
| 使用環境 | 供電規格 | AC220V,50Hz | |
| 氣源要求 | 0.5-0.7Mpa壓縮空氣，無明顯水汽和油脂 | ||
| 設備重量 | 溫度15-40℃。濕度要求30%-70%，無凝霜 | ||
| 整機尺寸 | 1800mm*1300mm*2250mm | ||
您感興趣的產品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
塑料機械網 設計制作，未經允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
