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真空機械手SRBZ820C-SMSX/G

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簡介

Introduction

機械手采用耐高溫手指有隔熱設計，可用于放置高溫托盤，短時間耐高溫300℃以上。指部、腕部靈巧的設計理念降低了接觸面的表面粗糙度，加大熱阻。同時具有噪音小、振動小、運行平穩、精度高等特點。具有更靈敏的碰撞保護功能，有效保護機械手和客戶晶圓。全新的軌跡規劃，提高運動節拍，提高了用戶產能。在半導體前道設備中廣泛應用，推動了國內半導體產業鏈的進步，有效的支撐了國內設備商的發展。

參數

Parameter